在使用臺式X熒光光譜儀對固體樣品進行分析時，樣品制備是確保分析結果準確可靠的關鍵環節，其中諸多細節需要格外留意。
樣品的分析面狀況對分析結果影響重大。分析面不能存在氣孔、析出物和多孔質現象。氣孔會使X射線在穿過樣品時發生散射和吸收的異常變化，干擾特征X射線的準確測定；析出物和多孔質結構會導致樣品成分分布不均勻，分析面無法代表整個樣品的真實組成，進而造成分析誤差。
防止偏析也是樣品制備中的重要任務。偏析的產生受多種因素影響，合金的組成和密度不同，元素在合金中的分布就可能不均勻；鑄模的材料、形狀和厚度會改變合金的冷卻條件，影響元素的遷移和聚集；合金熔化溫度、澆鑄溫度以及被澆鑄樣品的冷卻速度等熱過程參數，也會對元素的分布產生顯著作用。
樣品的冷卻速度同樣不容忽視。當樣品化學組成相同，但熱過程不同時，測得的X射線強度會有差異，尤其是含碳量高的鋼鐵樣品更為明顯。冷卻速度不一致會對輕元素如碳、鎂、硅、磷、硫等產生很大影響，同時一些元素如釩、鉻、鎢等會因形成碳化物而干擾分析。所以，制作校準曲線的樣品和分析樣品的熱處理過程必須保持一致。此外，元素的低固熔性會影響金屬的均勻性，快速冷卻能形成細晶粒金相結構，而大顆粒晶粒邊界易發生偏析和不均勻性。對于不適合直接分析的金屬樣品，可采用感應重熔離心澆鑄法制備樣品，該方法能消除基體效應，還可采用添加法、稀釋法、內標法等，并能人工合成標樣，但設備昂貴、制樣成本高。只有嚴格把控樣品制備的各個環節，才能為臺式X熒光光譜儀分析提供高質量的樣品，獲得準確可靠的分析結果。
臺式X熒光光譜儀固體樣品制備環節復雜且關鍵，關注分析面狀態、嚴防偏析、把控冷卻速度，必要時采用特殊制樣法，才能為精準分析筑牢根基，讓儀器發揮蕞大效能。